上海协微精密机械有限公司主营：Local scrubber 尾气处理器

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尾气处理，尾气净化，尾气价格韩国MATPECVD燃烧水洗 韩国mat尾气处理设备（scrubber）适用于：非晶硅薄膜太阳能电池、液晶显示器等pecvd制程、半导体、微电子等行业中蚀刻制程与化学气相沉积制程中产生的废气

「有害气体净化装置」TMA/ICP/CVD/MOCVD/PECVD废气

型号： 废气处理设备Scrubber 净化方式： 活性炭吸附法 加工定制： 非加工定制 废气类型： SiH4、NH3、PH3、B2H6、GeH4、SiH2Cl2、TEOS、NF3、H2、CO、SF6、C2F6、WF6、N2O 等。 处理风量： 100m³/h 净化效率： 99% 处理废气浓度： 100mg/m³

半导体制程工艺中硅烷（SiH4）废气处理Local Scrubber

硅烷的反应性和自燃性强烈，有非常宽的自发着火范围和极强的燃烧能量，毒性很大，如果人体吸入单硅烷就会强烈刺激呼吸器官，是一种高危险性的气体。在半导体工厂中，因工作区域一般离中心废气处理系统远，为了避免在冗长的排气过程中引发非预期的气体泄漏，局部聚积等问题，硅 …

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电子废气处理Local Scrubber简介图文百度文库

(3)吸附式则依照所需处理的废气种类,使用不同材质的吸附料,让废气通过吸附剂转变为 没有危害性的气体再排放,此类系统的废气处理效率佳,但由于吸附剂让气体通过的通道由孔 隙大小的限制,以及每组吸附剂都有其吸附处理的极限流量,因此不适用于容易堵塞或者

吸附剂苏州新耀环保科技有限公司

苏州新耀环保科技有限公司坐落于中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所，致力于研发及生产各种废气吸附剂及尾气处理设备，具有雄厚的研发及生产实力，可为相关企业提供完整可靠的废气处理解决方案

工业上等离子体刻蚀的废气怎么处理的百度知道

展开全部外接scrubber处理，氧化，吸附还有喷淋，选择很多。主要看你使用什么气 …展开全部什么是低温等离子体 低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态 …查看全部回答详情 ; 共 2 条回答 ;