发布日期:2024-03-25 10:03:49 作者：admin
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摘 要： 碳化硅 (SiC) 材料具有禁带宽度大、导热性好、载流子迁移率高等优点，是第三代半导体材料的代表之一。因其莫氏硬度大，致使划片难度增大，严重制约了碳化硅器件的 碳化硅晶圆划片的几种工艺方法 ,罗姆半导体技术社区
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砂轮片是磨削加工中最主要的一类磨具。砂轮片是在磨料中加入结合剂，经压坯、干燥和焙烧而制成的多孔体。由于磨料、结合剂及制造工艺不同，砂轮片的特性差别很大，因此对磨削的加工质量、生产率和经济性有着重要影响。
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山东省日照市河山磨具磨料厂（原日照市砂轮厂）位于山东省日照市城区，是国家机械工业部生产磨具的定点厂家。主要产品有陶瓷和树脂结合剂两大系列，包括一百多个品种的碳化硅、刚玉材质的平异型砂轮、磨石、油石、切割片等磨具产品，年生产量达2000余吨。
最 常用 的磨料 来 是棕刚 玉 ( A )和白 刚玉 ( WA )，其 自 次是黑碳化硅 2113 ( C ) 和绿 5261 碳化硅( GC )，其余常用的还有铬刚玉 4102 1653 ( PA )、单晶 刚玉( SA )、微晶刚玉( MA )、锆刚玉( ZA )。棕刚玉砂轮：棕刚玉的硬度高，韧性大，适宜磨削抗拉强度较高的金属，如碳钢、合金钢、可锻铸铁、 …
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